电子重生-第190部分
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城三太郎直起腰来，皱着眉头请求的看向前面的领队北大路拓也。在日本使团里面，唯一有权力变更参观项目的，恐怕只有他了。
“笑桑，我们的协议是对泛翰研究所进行参观，并没有限定某个研究科室吧。”北大路拓也硬着头皮凑了上来，作为东芝的考察团长，他并不希望和泛翰集团把关系弄的很僵硬，毕竟u盘专利授权还捏在人家的手里。
笑扉扉摇了摇头：“但是也不可能任由你们进行参观吧？我们的考查范围是在之前的谈判中确定好的，这个实验室并不在考查范围之内。”
“事情总有变化嘛！”北大路拓也在松田礼人逼视的目光下，只好硬着头皮上阵了：“谈判里的条件，也是和芯片生产线相关的技术研究单位，如果这个实验室是个激光实验室，我认为显然和芯片生产技术相关。”
负责接待的泛翰帝都研究所运营部门负责人赵大健突然插进话来，紧接着笑道：“北大路先生既然想参观，那就简单的看两眼好了。正好东芝集团也是在日本非常著名的科技企业，说不定还能在这方面对我们有所指导……”
松田礼人挑了挑眉毛，看向了北大路拓也，微微的点了点头。他在赵大健的身上，看到了过往在中国研究所参观时候的普遍态度。那就是对中国自己技术的不自信，有的人不自信会导致盲目自大，有的人不自信却会导致严重的自卑。
显然，这个赵大健很可能就是后者。再从他的身份上看，目前的芯片生产线是归属于运营部负责的。在泛翰研究院里，最希望能够从东芝引进0。5微米生产线的，肯定就是这个赵大健。一旦掌握的生产线数量增加，运营部很可能就会从研究院中独立出来，成为一个晶圆厂。
日本人在参观之前也是做过功课的，泛翰研究院虽然安保措施很严密，但这些基本的内部结构还是很容易能够获得。北大路拓也在松田礼人的暗示下，很快也就明白了问题的突破点在哪里。
“啊，没错！我们东芝的激光技术，在日本还是非常不错的。如果能够有幸参观一下泛翰集团的实验室，说不定我们可以互相交流一下……”
北大路拓也这话说的自己都有些脸红，东芝又不是尼康，在激光器方面的研究非常有限。能扯得上关系的，最多也就是激光打印机或者发光二极管这种级别的技术而已。和光刻机所涉及到的准分子激光相比，根本就是一个天上、一个地下，互相交流纯属扯淡。
“那就太好了！”赵大健才不管北大路拓也扯的什么借口，最后只要0。5微米生产线能够到手，实现运营部扩建成晶圆厂的目标，技术开发部门这边是死是活和他有什么关系？
至少在松田礼人的眼里，赵大健的表现，一定是对应了这种心理活动吧。中国人向来喜欢互相拆台，眼光短小、又非常迷信外国技术……
“赵部长，你怎么能这样！”笑扉扉跺着脚，拦在他的面前，恼怒道：“这个激光实验室是泛翰研究院的一级核心实验室，没有我的同意任何外部人员都不能进入的！”
赵大健却根本不卖她这个院长的帐，仗着自己男人身强力壮的优势，用力将她推到了一边，哼道：“让开，你懂什么？误了我们运营部进口生产线的大事，你这个院长也是要当到头的！”
说完，赵大健用自己的id卡划开大门，笑着为日本调查团领路道：“诸位，欢迎参观我们的激光实验室！”（未完待续。。）
第二百九十四章 截胡
“北大路先生，你看我们的激光技术怎么样？这套准分子激光设备，是我们泛翰研究院自行研制的，能够生成193nm波长的紫外激光。”赵大健陪着笑，将日本检查团领进了实验室。
一七三所前研究员江清月，正是在这个实验室里，进行着自己的工作。所谓准分子激光，并非是对激光本身属性进行的描述，而是特指的发出激光物质为准分子。
准分子激光一般是由氙气二聚体等惰性气体或卤素气体，受到电子束激发形成的激光。光子能量波长范围在157－353nm之间，由于激光是在气体受到外来能量的激发，所引起的一系列物理及化学反应中，曾经形成但转瞬即逝的分子发出的，所以被称之为准分子激光。
这种激光的一个特点是寿命极短，只有几十毫微秒的时间。超过这个时间，发出激光的分子，就会迅速还原成原本的气体状态。其中193nm波长的激光，就是用来作为治疗近视等眼部疾病使用的激光刀。同时，193nm的激光也是后世光刻机普遍使用的波长。
江清月在众人进入的时候，正操作着一台氟氩气体激发的准分子激光器，测试将激光光源进行多次聚焦之后再恢复成平行状态。
城三太郎几乎是看到的第一眼，心里就大喊了一声“八嘎雅路！”。从几组透镜的布置来看，泛翰集团显然已经是在研究0。35微米工艺的光刻机了！光刻机的加工精度不同，使用的透镜数量、种类和布置都有非常多的讲究。
作为尼康光刻机项目的参与者。城三太郎对当前最先进的0。35微米工艺光刻机，透镜的布置当然是了若指掌。他百分之百的肯定。泛翰集团目前已经摸到了这项技术的门路，实现技术突破恐怕只是时间问题了！
“赵部长。你这是做什么？”江清月看到一行人挤进了实验室里，皱着眉头问道。
“小江啊，快来我给你介绍一下！”赵大健呵呵笑着，摆了摆手说道：“这是日本东芝来咱们泛翰研究院的考察团，给国际友人们汇报一下咱们的研究进度，说不定还能给你的项目指点一二呢。”
江清月疑惑的看了赵大健一眼，她在泛翰研究院只是比较基层的研究员，级别是比不上赵大健的。但赵大健负责的是运营部，本身又管不到技术部的事情。她抬头向外面看去。却见到笑扉扉站在门外微微的点了点头，这才放下了心来。
“我们的试验正在测试高密度石英材料制作的镜头，在经过多次反射折射之后，进行色差补偿的方案……”
“色差补偿！”城三太郎微微一愣，脸上的表情就有些僵硬了。如果说之前他还只是怀疑，那么听到江清月的研究内容，就几乎是坐实了泛翰集团在0。35微米工艺的技术上，肯定是取得了不小的突破。色差补偿是光刻机研究领域，非常重要的内容。通过使色差最小化。能够抑制由激光带宽变动所引起的光学邻近效应。比如局部光斑、入射角和热象差、偏振状态控制能力的保持。
这些技术难题，直接决定了反射镜的数量与类型。这些镜头设计的细节，每一点改进都意味着距离成功更近了一步。
“我能看看你们的实验记录吗？”城三太郎还是非常谨慎的提出了他的要求，中国人或许可以摆一个花架子来骗他。但绝对没有办法编出一套正确的实验结果来。如果这种实验记录都能编出来，那更说明他们掌握了这项技术……
“小江，还不快把你们的实验记录拿出来。给城三太郎先生看看？”赵大健说着，还回过身来致歉道：“城三先生是东芝方面的光刻技术专家。您稍微指点两句，肯定会让我们获益良多。”
“哪里。我想以中国人的智慧，一定可以取得让我刮目相看的成绩。”城三太郎见江清月取来了实验记录，也就不在意多客气两句了。在日本越是受教育程度高的人，对汉语阅读就越流利，倒是不用担心他会看不懂实验记录。
城三太郎打开实验记录，粗粗的扫了两眼，不由得就是暗自心惊。各种光波在不同材质之中穿行，产生的变化都不相同。193nm的准分子激光，想要应用在光刻机上，就必须对镜头进行全新设计。在此之前就必须详细的试验新材料，全面的了解镜头对激光产生的所有影响。
从实验记录的结果上面来看，显然泛翰集团已经对高密度石英，进行了全面的激光测试。测试进度至少已经达到了80％的水平，要知道当全部测试完成之后，接下来要进行的就是镜片设计工作了。进入这个阶段，基本就可以看做是0。35微米工艺光刻机技术开发，进入到最后的步奏了。
“赵桑，这些数据都是你们自己的镜头，测试出来的结果吗？”城三太郎颇为焦急的问道，他这样的问题可以说是非常的不礼貌，但这个时候已经没有心情去计较这种小事了。
能够测试出完全正确的镜头数据，这说明中国人已经掌握了0。35微米光刻机所需的镜头加工技术。这对尼康来说，简直就像是在乡下小河沟里，突然钓出来一条大白鲨一样。
当今国际上，如果把芯片生产技术分成三个档次。那么1。2到0。8微米，可以算是上点档次的三流技术，至于1。2微米以上、乃至2微米以上的技术，已经基本没有存在的价值了。而0。5微米技术，可以算是二流技术，是当今世界上晶圆厂的主流水平。至于0。35微米工艺，就连尼康也不过才刚刚掌握而已。
这突然之间，在中国这种科技荒漠的国度里，城三太郎竟然发现了世界一流的光学镜片加工水平，岂不是太过于荒谬了吗！
这点把戏说穿了，其实毫不奇怪。周硕穿越前的二十年后，高密度石英材料早就已经被研究个透了。虽然没有各项镜片的具体实验数据，但其本身的各项特性却根本不是秘密。从基础数据进行反向推算，很容易就能得到理论上的实验数据。当然这些数据在1995年的城三太郎看来，没有经过试验是绝对不可能得到的。
中国人什么时候有这种水平了？这不科学啊！收起心中的惊讶，城三太郎表面上平静下来，假意摇头道：“你们在没有外部帮助的情况下，能够做到这一步确实非常的不容易了。不过目前看来石英材料带来的折射率，还是无法满足技术需要的。在我们日本，更加倾向于使用镥铝柘榴石来制作镜头。它的2。1折射率，能够极大的缩小线宽工艺。”
城三太郎这话说的也是半真半假，他当然不可能拿纯粹的假话来糊弄。泛翰研究院能够走到这个地步，没有点技术功底是不可能的。但镥铝柘榴石本身却极难加工，对激光的影响和石英材料也完全不同，如果泛翰研究院真的转头去研究这种材料，恐怕十年内都没有希望获得成果。
“真的？”赵大健脸色瞬间变得很坏，向江清月训斥道：“小江你们激光实验室是怎么回事？即使不能追上国际先进水平，但追踪国际水平也做不到吗？你听听，人家日本已经在使用镥铝柘榴石来制作镜头了，你们还在做石英材料的试验，这怎么能够满足我们运营部的需求？”
“这……”江清月的脸色不由得难看起来，有些生气的说道：“我们的技术路线不同，未必就不能继续沿用石英材料镜头吧？何况现在研究院已经在这项实验上投入了很大一笔资金，这时候再更改研究方向，集团哪里拿得出来这笔钱？”
“这你怕什么？集团很快就能得到一笔一亿美元以上的订单，到时候自然有资金继续进行投入……”赵大健说了两句，突然意识到当下的场合，连忙收住了嘴巴，冷冷的哼了一声道：“这个问题上面自有考虑，激光实验室先把石英材料的试验停下，做一做镥铝柘榴石的预研吧。”
一旁的日本翻译，准确的将江清月的这句话翻译了过去，这让城三太郎眼前一亮。光刻机镜头的研发，是非常耗费金钱的。目前的亚微米阶段，虽然比未来的纳米时代要便宜的多，等闲也是要几亿美元扔进去，才能有点成果出来。一家中国企业，因为开发光刻机而耗光了资金，似乎并不是太过奇怪的事情。
想来泛翰集团依仗的，就是华晶那笔庞大的采购方案。如果国际上依然坚持对华技术禁运，那么这笔上亿美元的订单，肯定就会落在他们的头上，当然也就会度过这段资金紧张的时期。城三太郎突然想到：如果这个时候，原本不会下场的尼康，突然抢走了他们这笔生意……（未完待续。。）
第二百九十五章 误解
从激光实验室里出来，日本代表团仍然继续考察泛翰研究院的0。5微米工艺芯片生产线。当然，为了避免他们看出问题来，光刻机部分是只能远观、不可亵玩焉的。即使如此，当一条真正的0。5微米线出现在他们面前的时候，就连东芝的人也不得不赞叹起来。
整条生产线虽然明显是在0。8微米线的基础上，进行了升级改装。但同样整个造价也大幅度的降低了，日本产的整条0。5微米生产线，一条起码也要两千万美元以上。但在国内的0。5微米线，可能只需要一千万人民币就行了。这里面的成本差距，已经足以抹平良品率的不足。如果再加上泛翰单晶硅厂的廉价单晶硅，泛翰集团的芯片生产线成本，实际上比国外的晶圆厂降低的非常厉害。
即将临别之际，赵大健拉着城三太郎的手，恳切的问道：“城三太郎先生，您是光刻方面的专家，看我们的生产线怎么样？高密度石英材料作为光刻镜头，是不是真的已经没有前景了？”
“这个嘛，倒也不好说。”城三太郎打着哈哈，笑道：“毕竟条条大路通罗马嘛，高密度石英材料在日本虽然已经过时，但在中国的低水平环境下，说不定还能走出一条不同的道路来。不过就是……”
“就是什么？”赵大健担忧的问道：“是不是我们的技术，有哪里做得不够好？”
“不、不，我是想说只不过石英材料的折射率毕竟只有1。6。这就意味着中国的同行们肯定要比我们日本人付出更多的努力才行。”城三太郎虽然说得很含蓄，但核心意思是明确的。就是在告诉赵大健。使用高密度石英材料，将导致光刻机研究产生更多不可预料的后果。导致研究进度出现问题。
他的核心思想很明确，就是希望能够挑拨泛翰研究所里负责运营生产的运营部和负责技术研发的技术部，两者之间必然会因为目的不同导致的矛盾。技术部肯定希望能够掌握独立知识产权、独立
